朱一心
【姓名】 朱一心
【职称】
【研究领域】 仪器仪表工业;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 液态金属离子源,微离子束,聚焦离子束,静电透镜,单透镜,着靶,双透镜,能量散度,发射电流,离子源,双透镜聚焦系统,半导体工艺设备,设计分析,引出电压,单电位透镜,射针,五极,外层电子,偏转散焦,针型,...
【工作单位】 长沙半导体工艺设备研究所
【曾工作单位】 长沙半导体工艺设备研究所;
【所在地域】
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[1]朱一心,黄焕文,何喜冠,杨建生,宗庆,余永雄,贾京英.聚焦离子束装置用的镓液态金属离子源的研制[J]微细加工技术.1985,(02)
[2]朱一心,曹麟刚.用于聚焦微离子束装置的静电透镜系统的设计分析[J]微细加工技术.1986,(03)
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