尹田华
【姓名】 尹田华
【职称】
【研究领域】 自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 离子注入机,光导纤维,高电压,参数监控,成功应用,光信号,低电位,离子注,监测,控制台,注入机,F转换,信号取样,功能部件,光导纤维传输,传输信号,绝缘性,频率脉冲,工作特点,频率测量,
【工作单位】 长沙半导体工艺设备研究所
【曾工作单位】 长沙半导体工艺设备研究所;
【所在地域】
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[1]尹田华.光导纤维在离子注入机上的应用[J]微细加工技术.1988,(01)
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