宋桂芬
【姓名】 宋桂芬
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 GCr15钢,电子能谱法,样品表,Ar离子,峰高,溅射,元素,混合元素,溅射时间,离子轰击,C层,离子束混合,合注,注入效应,择优溅射,S谱,相对原子,俄歇,半导体工艺设备,混合离子束,
【工作单位】 长沙半导体工艺设备研究所
【曾工作单位】 长沙半导体工艺设备研究所;
【所在地域】
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[1]李望,展振宗,罗应明,宋桂芬.电子能谱法研究GCr15钢注Ar~+及GCr15钢镀Ti、Cr后的Ar~+束混合[J]微细加工技术.1985,(02)
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