曹麟刚
【姓名】 曹麟刚
【职称】
【研究领域】 仪器仪表工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 微离子束,静电透镜,单透镜,着靶,双透镜,双透镜聚焦系统,设计分析,单电位透镜,五极,偏转散焦,离子源,聚焦束,聚焦光学系统,束斑,透镜,离子光学,象距,复合透镜,色差系数,物距,
【工作单位】 长沙半导体工艺设备研究所
【曾工作单位】 长沙半导体工艺设备研究所;
【所在地域】
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[1]朱一心,曹麟刚.用于聚焦微离子束装置的静电透镜系统的设计分析[J]微细加工技术.1986,(03)
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