吕天山
【姓名】 吕天山
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;计算机软件及计算机应用;
【研究方向】
【发表文献关键词】 化学气相沉积,金刚石膜,应力-应变,放电电流,应变特性,微观应变,金刚石厚膜,辉光放电,甲烷浓度,力学性能,宏观应变,影响规律,热阴极,工艺过程,膜应力,沉积工艺,工艺条件,制备工艺,衍射峰,晶面间距,
【工作单位】 长春工业大学
【曾工作单位】 长春工业大学;
【所在地域】 长春
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