刘晓莉
【姓名】 刘晓莉
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 光刻图形,集成电路,线宽,光刻技术,光刻工艺,纳米图形,高分辨率,光刻胶,图形转移,光学系统,光刻机,光源,掩模版,邻近效应,光刻系统,集成度,衬底材料,短波长光,准分子激光器,新进展,
【工作单位】 长春工业大学
【曾工作单位】 长春工业大学;
【所在地域】 吉林长春
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[1]刘晓莉,李霄燕,邵敏权.光刻技术及其新进展[J]光机电信息.2005,(09)
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