尹秋琴
【姓名】 尹秋琴
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 前级抽气,加热器,电阻加热器,吸附泵,加热丝,分子束外延,实验装置,前级系统,初步应用,超高真空,喷射炉,半导体工艺设备,扩散泵,瓷管,分子筛吸附,机组,新技术,管状加热器,高工作温度,真空,机械泵,...
【工作单位】 长沙半导体工艺设备研究所
【曾工作单位】 长沙半导体工艺设备研究所;
【所在地域】
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[1]龚汩清,于自强,尹秋琴.分子束外延实验装置中的前级抽气系统[J]微细加工技术.1984,(04)
[2]于自强,尹秋琴.钽电阻加热器的制作新技术及其初步应用[J]微细加工技术.1985,(02)
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