吴健昌
【姓名】 吴健昌
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 电子束曝光机,工件台,曝光机,直接作图,电子束,抗蚀剂,圆片,最新进展,偏转器,扫描场,加速电压,偏转范围,热场致发射,静电式,日本,电子枪,离子束,图形,偏转板,电子光学系统,
【工作单位】 长沙半导体工艺设备研究所
【曾工作单位】 长沙半导体工艺设备研究所;
【所在地域】
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