李良翠
【姓名】 李良翠
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 光电检测器,电流响应度,离子注入技术,均匀性,响应度,离子注入,离子注入法,太阳能电池,短波响应,浅结,P—N结,光电特性,检测器,热退火,低能量注入,半导体工艺设备,离子注,热扩散法,太阳模拟器,太...
【工作单位】 长沙半导体工艺设备研究所
【曾工作单位】 长沙半导体工艺设备研究所;
【所在地域】
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[1]李良翠,张海林.离子注入技术在光电检测器中的应用[J]微细加工技术.1984,(04)
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