俄歇电子能谱仪组
【姓名】 俄歇电子能谱仪组
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 俄歇电子能谱仪,电子衍射仪,能量分辨率,同轴,简化结构,电子束,离子束,仪器,入射电子束,束流,分子束外延,主要技术指标,对称轴,设计方案,信噪比,商品,锁定放大器,电子枪,二次电子,焦距,
【工作单位】 长沙半导体工艺设备研究所
【曾工作单位】 长沙半导体工艺设备研究所;
【所在地域】
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[1]俄歇电子能谱仪组,田清平.俄歇电子能谱仪的设计与调试[J]微细加工技术.1988,(01)
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