袁军
【姓名】 袁军
【职称】
【研究领域】 物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 显微硬度值,晶粒尺寸,高温抗氧化性,基片负偏压,工艺条件,腐蚀性,立方结构,研制结果,氮分压,沉积膜,形貌,直流磁控溅射,原子反应,成膜过程,实验结果,晶格常数,强中,关系曲线,择优取向,射线衍射,
【工作单位】 北京真空电子技术研究所
【曾工作单位】 北京真空电子技术研究所;
【所在地域】
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[1]袁军,丁明清,胡汉泉.直流磁控溅射(Ti、Al)N硬化膜的研制[J]真空科学与技术.1990,(06)
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