张果虎
【姓名】 张果虎
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 硅,面向,氢,氢致缺陷,离子注入,注氢,片状缺陷,面向对,微结构,金属研究,国家工程研究中心,半导,间隙原子,体材料,张应变,面样,择优性,透射电子,横截,crystalline,
【工作单位】 北京有色金属研究总院半导体材料国家工程研究中心
【曾工作单位】 北京有色金属研究总院半导体材料国家工程研究中心;
【所在地域】 北京
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[1]肖清华,屠海令,王敬,周旗钢,张果虎.面向对注氢硅片中微结构的影响[J]半导体学报.2003,(12)
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