张重敏
【姓名】 张重敏
【职称】
【研究领域】 环境科学与资源利用;
【研究方向】
【发表文献关键词】 洁净技术,污染控制,洁净室,污染控制技术,体硅,半导,材料厂,工艺设计,超纯,洁净工艺,洁净室设计,洁净度,超纯水,工艺介质,洁净环境,硅材料,加工空间,输配系统,微细化,洁净室技术,
【工作单位】 北京有色冶金设计研究总院
【曾工作单位】 北京有色冶金设计研究总院;
【所在地域】
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