李晓延
【姓名】 李晓延
【职称】 工程师;
【研究领域】 自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 MOEMS,压力传感器,微型光机电系统,阵列,硅膜,感器,空腔,干涉仪,光纤,制作工艺,发展中,传感器阵列,形变,相位式,力敏,薄硅,晶片,光强,半透膜,技术制作,
【工作单位】 北京信息工程学院
【曾工作单位】 北京信息工程学院;
【所在地域】
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[1]李晓延.发展中的MOEMS压力传感器[J]传感器世界.2004,(08)
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