学者知网节

【姓名】	毛旭
【职称】	讲师;
【研究领域】	航空航天科学与工程;自动化技术;无线电电子学;
【研究方向】	硅基薄膜材料和微机械传感器方面的研究
【发表文献关键词】	旋转载体,硅微机械陀螺,角速度,半导体技术,Cu薄膜,陀螺,TiSi_2薄膜,溅射方法,电阻率,晶粒大小,微机械,硅片,各向异性腐蚀,仿真器,晶粒尺寸,电子技术,致密性,旋转体,MEMS,湿法刻蚀,K...
【工作单位】	北京信息工程学院
【曾工作单位】	北京信息工程学院;
【所在地域】	北京

中国期刊全文数据库 共找到7篇

[1]张福学;毛旭;张伟;.旋转体自身驱动的硅微机械陀螺[J]中国工程科学.2006,(08)

[2]张福学;王宏伟;张伟;毛旭;张楠;.旋转载体驱动硅微机械陀螺的设计和性能检测[J]电子元件与材料.2006,(12)

[3]刘宇;毛旭;岳萍;张福学;.恒温磁力搅拌下KOH刻蚀Si的研究[J]电子元件与材料.2006,(12)

[4]张福学;毛旭;.气流式补偿回路传感器[J]压电与声光.2007,(01)

[5]毛旭;刘宇;汪银年;丁明清;张福学;.二维硅微机械陀螺的研究[J]压电与声光.2007,(03)

[6]毛旭,刘宇,张伟,张福学.磁控溅射生长Cu/Si薄膜[J]电子元件与材料.2005,(10)

[7]张福学,王宏伟,张伟,毛旭,张楠.利用旋转载体自身角速度驱动的硅微机械陀螺[J]压电与声光.2005,(02)

中国重要会议全文数据库 共找到1篇

[1]张福学;王宏伟;张伟;毛旭;张楠;.利用旋转载体自身角速度驱动的硅微机械陀螺[A].惯性技术发展动能发展方向研讨会论文集.2004-09-01

今年新增/文献篇数	核心期刊论文数	基金论文数	第一作者篇数	总被引频次	总下载频次
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