张秀娥
【姓名】 张秀娥
【职称】
【研究领域】 航空航天科学与工程;
【研究方向】
【发表文献关键词】 离子镀,表面镀膜,溅射,磁控,复合靶,工艺参数,磁控溅射,镀膜,膜技术,多弧镀,真空度,均匀性,工件表面,铁氧体,真空室,电气性能,过试验,溅射清洗,镀层质量,功耗,
【工作单位】 北京无线电计量测试研究所
【曾工作单位】 北京无线电计量测试研究所;
【所在地域】
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[1]毛德才,张秀娥.复合靶磁控溅射离子镀膜技术[J]航天工艺.2000,(01)
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