金翠
【姓名】 金翠
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 化学机械研磨,计算机技术,自动控制,APC系统,半导体,集成电路,用户界面,平坦化,晶圆表面,发展历程,研磨工艺,反馈控制,研磨时间,制造技术,数据库表,历史记录,芯片,过程控制,语言,制程,
【工作单位】 北京石油化工学院
【曾工作单位】 北京石油化工学院;
【所在地域】 北京
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[1]秦彩云;金翠;.APC技术在化学机械研磨工艺中的应用[J]辽宁化工.2006,(07)
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