田淑芸
【姓名】 田淑芸
【职称】
【研究领域】 物理学;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 剖面分布,扩散系数,硼离子,注入硅,结深,载流子浓度,退火条件,计算曲线,再扩散,实验点,离子注,线性扩散,方程的解,浓度分布,微分电导,损伤恢复,退火时间,物理研究所,峰值浓度,模型计算,
【工作单位】 北京师范大学
【曾工作单位】 北京师范大学;
【所在地域】
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[1]李国辉,王兴民,卢志恒,张通和,田淑芸.硼离子注入硅的剖面分布[J]半导体学报.1983,(04)
[2]秦光戎;龚德纯;李蓉;姜璐;田淑芸;.参数空间周期区域2~n分岔行为[J]北京师范大学学报(自然科学版).1985,(03)
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