张炎
【姓名】 张炎
【职称】
【研究领域】 自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 加速度传感器,各向异性腐蚀,悬臂梁,带质量,块硅,V形槽,双面光刻,下板,夹具,质量块,悬臂粱,削角,硅梁,特殊工艺,半导体传感器,ZnO压电薄膜,光刻胶,板夹,掩膜,废片,
【工作单位】 北京理工大学
【曾工作单位】 北京理工大学;
【所在地域】
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[1]张炎,林鸿溢.带质量块硅悬臂梁加速度传感器的特殊工艺[J]传感器技术.1994,(01)
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[1]张炎.基于嵌入式Linux的犊牛饲喂与监控系统[D].北京理工大学.2018
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