张家跃
【姓名】 张家跃
【职称】
【研究领域】 自动化技术;无线电电子学;金属学及金属工艺;
【研究方向】
【发表文献关键词】 ZnO薄膜,传感材料,微硅,溅射,C轴取向,加速度传感器,超精,加速度,速度传感,加速度计,基片温度,质量块,双面光刻,化学式量,四极,悬臂梁,淀积速率,反应溅射,细加工,电阻率,膜的成分,射频反应溅...
【工作单位】 北京理工大学
【曾工作单位】 北京理工大学;
【所在地域】
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[1]张家跃.C轴取向ZnO薄膜的研制报告[J]测控技术.1994,(04)
[2]张家跃.ZnO薄膜的研制[J]传感器技术.1995,(02)
[3]张家跃.微硅加速度计的超精细加工[J]中国惯性技术学报.1996,(02)
[4]张家跃.ZnO 薄膜集成加速度传感器[J]中国惯性技术学报.1997,(02)
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