廖兴才
【姓名】 廖兴才
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 石英音叉,静态集总电容,动态等效电路,石英陀螺,Cr/Au掩模,音叉,双面光刻,化学腐蚀,有限元法,叉指,电学参数,微细加工,石英晶体,腐蚀时间,敏感电极,若干问题探讨,集总电容,有限元分析,腐蚀液,...
【工作单位】 北京理工大学
【曾工作单位】 北京理工大学;
【所在地域】 北京
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[1]廖兴才,孙雨南,唐琼,崔芳.微石英音叉电学参数的有限元分析[J]北京理工大学学报.2003,(04)
[2]唐琼,崔芳,廖兴才,孙雨南.石英音叉微细加工若干问题探讨[J]微细加工技术.2004,(02)
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