崔健民
【姓名】 崔健民
【职称】
【研究领域】 物理学;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 弹性膜,硅微机械F-P腔,支臂,硅微机械,F-P腔,有限元法,电场,电场力,有限元分析,腔长,硅基底,反射镜,耦合场,外加电压,光电工程,氮化硅,微机械,力学性能,北京理工大学,腔体,
【工作单位】 北京理工大学
【曾工作单位】 北京理工大学;
【所在地域】 北京
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[1]欧毅,孙雨南,崔芳,崔健民.硅微机械F-P腔结构及电场的有限元分析[J]北京理工大学学报.2002,(04)
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