谢会开
【姓名】 谢会开
【职称】
【研究领域】 自动化技术;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 ISFET,双面光刻,PJN结构,光电位置传感器(PSD),双面对准,背面引线,光电位置传感器,深槽,新突破,电极引线,版式,标记图形,双面对准曝光,欧姆接触,PSD器件,敏感膜,各向异性腐蚀,外廓,...
【工作单位】 北京理工大学
【曾工作单位】 北京理工大学;
【所在地域】
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[1]余小敏;张林嘉;罗文松;谢会开;.基于电热型扫描微镜的微型双光子显微镜探头设计[J]中国生物医学工程学报.2022,(03)
[2]谢会开.ISFET的新突破—BSC-ISFET初探[J]传感器技术.1991,(04)
[3]谢会开,李卫,许德华.双面光刻简易技术[J]半导体技术.1992,(02)
[4]谢会开,王爵树.小型相机自动对焦用光电位置传感器[J]传感器技术.1992,(04)
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