张荣明
【姓名】 张荣明
【职称】
【研究领域】 化学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 低温化学,气相沉积,四氯化钛,氨解,TiCl_4,NH_3,沉积温度,失重率,分解为,红外,反应室,振动谱带,表观活化能,特征谱带,温度,生成反应,条件,X射线分析,比能,反应区,
【工作单位】 北京科技大学
【曾工作单位】 北京科技大学;
【所在地域】
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[1]马肇曾,张荣明.TiCl_4-NH_3-H_2体系低温化学气相沉积TiN的机理和条件[J]北京科技大学学报.1992,(03)
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