廖峰
【姓名】 廖峰
【职称】
【研究领域】 自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 波导测试站,MEMS(微机电系统),全光学测试,材料特性,检测技术,微机电系统,光学测试,MEMS,微结构,测试站,面间距,光柱,干涉测试,干涉计,弹性模,X射,线衍射法,MEMS系统,悬臂梁法,ES...
【工作单位】 北京理工大学
【曾工作单位】 北京理工大学;
【所在地域】
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[1]廖峰,石庚辰.微机电系统材料特性检测技术[J]传感器世界.2002,(12)
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