张新生
【姓名】 张新生
【职称】
【研究领域】 化学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 刻蚀,聚合,PET,CH_4/CF_4等离子体,射频等离子体,变角XPS,沉积速率,深度剖析,改性层,碳氟等离子体,表面改性,宏观参数,变角,体等离子体,XPS分析,子体,复合参数,电极间距离,组分,...
【工作单位】 北京教育学院
【曾工作单位】 北京教育学院;
【所在地域】 北京
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/2 2 2 0 5 281
中国期刊全文数据库    共找到2篇
[1]张亮,毛坤元,张新生,王建祺.PET表面的碳氟等离子体处理改性层组分的变角XPS分析[J]高等学校化学学报.1999,(10)
[2]张亮,王建祺,张新生.射频等离子体放电的宏观参数与PET表面改性的关系[J]真空科学与技术.1998,(05)
更多