宋汝安
【姓名】 宋汝安
【职称】
【研究领域】 物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 金刚石薄膜,压强,微波等离子体,金刚石,气相生长,等离子体,晶膜,原料气体,微波,石墨相,基片架,ECR等离子体,反应室,H离子,混合气体,CR点,非晶碳,等离子体区,大面积,电子回旋,
【工作单位】 北京计算机学院
【曾工作单位】 北京计算机学院;
【所在地域】 北京
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[1]宋汝安,程先安,周忠毅.磁场-微波等离子体与大面积金刚石薄膜[J]物理学报.1990,(10)
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