文武
【姓名】 文武
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;有机化工;
【研究方向】
【发表文献关键词】 光刻胶,193nm,光致产酸剂,主体树脂,193 nm,单体,配方,碱性添加剂,ULSI,抑制剂,问题和解决途径,酸敏,研究进展,最佳分辨率,深紫外,聚合物,结构设计,发展与现状,光敏性,实验室,超大...
【工作单位】 北京化学试剂研究所
【曾工作单位】 北京化学试剂研究所;
【所在地域】 北京
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[1]郑金红,黄志齐,陈昕,焦小明,杨澜,文武,高子奇,王艳梅.193nm光刻胶的研制[J]感光科学与光化学.2005,(04)
[2]郑金红,黄志齐,文武.ULSI用193nm光刻胶的研究进展[J]精细化工.2005,(05)
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