孙书龙
【姓名】 孙书龙
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 类金刚石薄膜,霍尔离子源,离子源,灯丝电流,霍尔,放电电压,放电电流,离子束,薄膜硬度,离子束流,类金刚石,伏安特性曲线,灯丝发射,材料物理,工作气体,电离作用,沉积速率,正常辉光,硬度,碳离子,
【工作单位】 北京科技大学
【曾工作单位】 北京科技大学;
【所在地域】 北京
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[1]孙书龙,杨会生,王燕斌,熊小涛.霍尔离子源制备类金刚石薄膜研究[J]真空科学与技术.2003,(03)
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