侯宏森
【姓名】 侯宏森
【职称】
【研究领域】 一般化学工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 248nm光刻胶,深紫外光刻,光致产酸剂,主体树脂,化学增幅,KrF激光,酸催化,SPIE,光刻胶,缩酮,深紫外,ESCA,环境稳定性,负型光刻胶,光敏性,光透,碱性添加剂,胶膜,活化能,缩醛,
【工作单位】 北京化学试剂研究所
【曾工作单位】 北京化学试剂研究所;
【所在地域】 北京
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[1]郑金红,黄志齐,侯宏森.248nm深紫外光刻胶[J]感光科学与光化学.2003,(05)
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