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杜玮
【姓名】
杜玮
【职称】
【研究领域】
冶金工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】
化学气相沉积,动力学模型,活化能,动力学模,表面化学反应,配分函数,活化络合物,动力学区,反应速度理论,沉积动力学,张长,限制性环节,扩散区,沉积速度,高温区,传输模型,吸附态,传质系数,表面反应,气...
【工作单位】
北京科技大学
【曾工作单位】
北京科技大学;
【所在地域】
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共找到1篇
[1]徐学珍,许效红,张长鑫,杜玮.
化学气相沉积钽的动力学模型
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