焦晓明
【姓名】 焦晓明
【职称】
【研究领域】 有机化工;
【研究方向】
【发表文献关键词】 光敏聚酰亚胺,光固化机理,化学增幅,光敏产酸物,阻溶剂,光刻工艺,负性光致抗蚀剂,正性光致抗蚀剂,热失重,抗蚀剂,甲酚醛,HMMM,水型,光致抗蚀剂,感光速率,曝光区,苯基碘,光刻图形,树脂,酮羰基,...
【工作单位】 北京化学试剂研究所
【曾工作单位】 北京化学试剂研究所;
【所在地域】 北京
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[1]陈明,李元昌,洪啸吟,焦晓明,程爱萍.一种可以正负互用的水型化学增幅抗蚀剂的研究[J]高等学校化学学报.2000,(09)
[2]李加深,李佐邦,朱普坤,杨丽芳,李芳,焦晓明,成爱萍,陈建军.光敏聚酰亚胺抗蚀剂的研究[J]感光科学与光化学.1999,(04)
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