余雷
【姓名】 余雷
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;工业通用技术及设备;航空航天科学与工程;
【研究方向】
【发表文献关键词】 薄膜,热物性参数,系统,设计,发射率,飞机设备吊舱,薄膜导热系数,导热系数,测量技术,后烘,掩模,SiNx薄膜,形变,微尺度传热,平面形变,后烘烤,X射线光刻,X射线掩模,金属线,优化技术,环境控制,...
【工作单位】 北京航空航天大学
【曾工作单位】 北京航空航天大学;
【所在地域】 北京
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[1]王永坤,余建祖,余雷,陈大鹏.X射线光刻掩模后烘过程的瞬态热分析[J]微细加工技术.2003,(02)
[2]余雷,余建祖,王永坤.SiN_x薄膜热物性参数实验测量与分析研究[J]物理学报.2004,(02)
[3]王永坤,余建祖,余雷,陈大鹏.X射线光刻掩模背面刻蚀过程中的形变仿真[J]微细加工技术.2004,(03)
[4]王永坤,余建祖,余雷.X射线光刻掩模加工过程中的形变研究[J]真空科学与技术学报.2005,(01)
[5]余雷,余建祖,高泽溪.一种用于电子薄膜导热系数和发射率测量的实验方案[J]航空学报.2001,(03)
[6]余建祖,余雷.飞机设备吊舱环境控制系统的优化设计[J]北京航空航天大学学报.2002,(01)
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