张生俊
【姓名】 张生俊
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;化学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 CVD,生长,金刚石薄膜,热丝,场电子发射,负电子亲和势(NEA),成核,立方氮化硼薄膜,衬底,势垒,成核与生长,HFCVD,热丝CVD,ECR CVD,cBN,类金刚石碳,CVD法,金刚石,氮化碳,...
【工作单位】 北京工业大学
【曾工作单位】 北京工业大学;
【所在地域】 北京
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中国期刊全文数据库    共找到6篇
[1]张生俊,陈光华.热丝辅助ECR CVD制备cBN薄膜[J]无机材料学报.2003,(04)
[2]陈光华,张生俊,宋雪梅,李英兰,张阳.新型金刚石薄膜场电子发射的特性[J]北京工业大学学报.2000,(03)
[3]宋雪梅,王波,张兴旺,张生俊,陈光华,严辉.HFCVD法沉积金刚石薄膜中热丝优化方法(英文)[J]人工晶体学报.2000,(03)
[4]王波,宋雪梅,张生俊,张兴旺,严辉.CVD法沉积金刚石薄膜中成核与生长的势垒研究(英文)[J]人工晶体学报.2000,(03)
[5]陈光华,邓金祥,张生俊,宋雪梅,王波,严辉.衬底材料对制备立方氮化硼薄膜的影响[J]物理学报.2001,(01)
[6]张生俊,陈光华,邓金祥,宋雪梅,邵乐喜.几种新型超硬薄膜的研究进展[J]物理.2001,(10)
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中国博士学位论文全文数据库    共找到1篇
[1]张生俊.MWECR CVD系统及BN薄膜生长与特性研究[D].北京工业大学.2001
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