吴月华
【姓名】 吴月华
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 同步辐射源X射线衍射,Al互连线,热应力,电迁徙,电流密度,失效特征,金属互连,电徙动,器件失效,退火过程,电迁移,实验过程,中国科学院,动态测试,特征尺寸,线性变化,测试结果,阳极端,阴极,压应力,
【工作单位】 北京工业大学
【曾工作单位】 北京工业大学;
【所在地域】 北京
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[1]吉元,刘志民,付厚奎,李志国,钟涛兴,张虹,吴月华,付景永.采用同步辐射源X射线衍射技术原位观测VLSI铝互连线的应力[J]北京工业大学学报.2005,(05)
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