曹志荣
【姓名】 曹志荣
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 气相沉积,体系化,气体流速,沉积速度,表面过程,输入浓度,动力学,限速反应,实验值,速度表达式,计算值,体表面,刻蚀作用,限速步骤,实验数据,速度方程,控制区域,表面反应,完全复盖,氮浓度,
【工作单位】 北京钢铁学院
【曾工作单位】 北京钢铁学院;
【所在地域】
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[1]缪惠芳,曹志荣.Ti-Cl-H-N体系化学气相沉积TiN动力学和机构[J]稀有金属.1989,(03)
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