杨道虹
【姓名】 杨道虹
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;自动化技术;金属学及金属工艺;
【研究方向】 微电子机械系统和半导体光电子学
【发表文献关键词】 腐蚀,光刻,键合,MEMS,硅直接键合,流体力学(CFD)模拟,气动红外探测器,激光,微电子机械系统,键合技术,红外探测器,微机械,室温红外探测器,阳极键合,非制冷,Si/Si,Au/Si,共熔键合,...
【工作单位】 北京工业大学
【曾工作单位】 北京工业大学;
【所在地域】 北京
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/16 13 16 7 60 2435
中国期刊全文数据库    共找到14篇
[1]霍文晓;徐晨;杨道虹;赵林林;赵慧;沈光地;.CF_4等离子处理在低温硅片直接键合中的应用[J]半导体技术.2006,(04)
[2]刘铮,李兰,邹德恕,杨道虹,徐晨,沈光地.新型非制冷高速高灵敏度红外探测器的研制[J]红外与激光工程.2003,(05)
[3]李兰,沈光地,邹德恕,刘铮,邓军,杨道虹,吴畯苗.新型室温微机械红外探测器原理与设计[J]光电工程.2004,(02)
[4]杨道虹,徐晨,董典红,李兰,吴畯苗,张建铭,阳启明,邹德恕,沈光地.新型室温中远波段红外探测器的关键工艺研究[J]仪表技术与传感器.2004,(04)
[5]吴峻苗 ,邹德恕,高国,李兰,刘铮,杨道虹.微机械气体红外探测器的CFD模拟[J]测控技术.2004,(05)
[6]杨道虹,董典红,徐晨,张剑铭,阳启明,沈光地.激光在MEMS键合技术中的应用[J]半导体光电.2004,(02)
[7]杨道虹,徐晨,李兰,吴苗,沈光地.Si/Ti/Au/Si键合技术研究及其应用[J]光电子·激光.2004,(07)
[8]阳启明,张剑铭,杨道虹,徐晨,沈光地.MEMS技术在非制冷红外探测器中的应用[J]半导体技术.2004,(10)
[9]杨道虹,徐晨,沈光地.应用双电场减小阳极键合过程中MEMS器件可动部件的损伤(英文)[J]半导体学报.2004,(10)
[10]杨道虹,徐晨,董典红,金文贤,阳启明,张剑铭,沈光地.激光熔融键合在新型室温红外探测器的应用[J]功能材料与器件学报.2004,(02)
更多
中国重要会议全文数据库    共找到2篇
[1]赵林林;徐晨;杨道虹;霍文晓;赵慧;沈光地;.金硅共晶键合在微机械Golay-cell红外探测器中的应用[A].中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一).2005-08-01
[2]徐晨;霍文晓;杨道虹;赵慧;赵林林;沈光地;.一种新颖的低温硅片直接键合技术[A].中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一).2005-08-01
更多