阳启明
【姓名】 阳启明
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】 微电子学与光电子学
【发表文献关键词】 腐蚀,光刻,键合,MEMS,硅直接键合,微电子机械系统,激光,红外探测器,非制冷,室温红外探测器,键合技术,激光熔融,阳极键合,分形,硅膜,北京工业大学,关键工艺,信息与控制,腐蚀停止,中远,乙醇,激...
【工作单位】 北京工业大学
【曾工作单位】 北京工业大学;
【所在地域】 北京
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[1]杨道虹,徐晨,董典红,李兰,吴畯苗,张建铭,阳启明,邹德恕,沈光地.新型室温中远波段红外探测器的关键工艺研究[J]仪表技术与传感器.2004,(04)
[2]杨道虹,董典红,徐晨,张剑铭,阳启明,沈光地.激光在MEMS键合技术中的应用[J]半导体光电.2004,(02)
[3]阳启明,张剑铭,杨道虹,徐晨,沈光地.MEMS技术在非制冷红外探测器中的应用[J]半导体技术.2004,(10)
[4]杨道虹,徐晨,董典红,金文贤,阳启明,张剑铭,沈光地.激光熔融键合在新型室温红外探测器的应用[J]功能材料与器件学报.2004,(02)
[5]杨道红,徐晨,董典红,李兰,吴畯苗,张剑铭,阳启明,金文贤,邹德恕,沈光地.一种新型键合工艺的理论和实验研究[J]北京工业大学学报.2004,(04)
[6]杨道虹,徐晨,董典红,张剑铭,阳启明,金文贤,沈光地.硅腐蚀停止技术制备超薄硅膜中的分形现象[J]半导体学报.2005,(01)
[7]董典红,徐晨,邹德恕,李兰,杨道虹,张剑铭,阳启明,沈光地.用于高灵敏度红外探测器的超薄硅膜的研制[J]红外与激光工程.2005,(01)
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