李小换
【姓名】 李小换
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;
【研究方向】 电子薄膜及器件研究
【发表文献关键词】 ZnO薄膜,氧缺陷,衬底温度,射频溅射,边带,溅射气体,材料教育,c轴取向,衍射峰,XRD谱,纤锌矿结构,新型功能,北京工业大学,氧原子,溅射,紫外,取向性,吸附原子,不同衬底,重点实验室,
【工作单位】 北京工业大学
【曾工作单位】 北京工业大学;
【所在地域】 北京
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[1]王磊;冷杉;王波;黄安平;李小换;朱满康;严辉;.AlN/Si衬底上ZnO薄膜的择优取向生长[A].第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ.2004-09-01
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