李秉臣
【姓名】 李秉臣
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 蓝宝石衬底,发光二极管,背减薄,研磨压力,抛光,外延片,工艺研究,颗粒度,表面损伤层,表面粗糙度,工艺条件,去除速率,上升趋势,数量级,光电子技术,支撑技术,实验室,工艺参数,均匀性,磨料,
【工作单位】 北京工业大学
【曾工作单位】 北京工业大学;
【所在地域】 北京
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[1]李冰,郭霞,刘莹,李秉臣,王东凤,沈光地.蓝宝石基LED外延片背减薄与抛光工艺研究[J]半导体技术.2005,(09)
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