焦文莱
【姓名】 焦文莱
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 基板偏压,离子镀,二极型,伪扩散,膜材,过渡层,空心阴极离子镀,中性粒子,轰击净化,膜层组织,直流,原子,成分分布,低真空蒸发,溅射,金属离子,阴极暗区,千电子伏,金属材料及热处理,高能粒子轰击,
【工作单位】 北京工业大学
【曾工作单位】 北京工业大学;
【所在地域】
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[1]王福贞,翟乐恒,张建华,王鲁闽,焦文莱.离子镀技术中基板偏压作用的研究[J]真空.1982,(05)
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