张锦文
【姓名】 张锦文
【职称】 副教授;
【研究领域】 无线电电子学;核科学技术;仪器仪表工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 SnO_2薄膜,湿敏效应,Ti/Al/Ti/Au,喷雾热分解法,AlGaN,AlGaN/GaN,HFET,欧姆接触,键合,应力,湿敏,高深宽比刻蚀,MEMS标准工艺,输出特性,防粘附,驻极体,微型发电...
【工作单位】 北京大学
【曾工作单位】 北京大学;
【所在地域】 北京
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