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尹冬青
【姓名】
尹冬青
【职称】
【研究领域】
无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】
微镜,复合静电驱动结构,平板驱动器,垂直梳齿驱动器,硅混合微加工,拐点电压,光开关,纳米加工技术,工艺制作,插入损耗,硅表面,国家重点实验室,微电子学,吸合,半导体,光纤系统,内旋转,扭转弹性,自发性...
【工作单位】
北京大学
【曾工作单位】
北京大学;
【所在地域】
北京
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共找到1篇
[1]吴文刚,陈庆华,尹冬青,闫桂珍,陈章渊,郝一龙,徐安士.
复合静电驱动结构致动的内旋转微镜(英文)
[J]半导体学报.2005,(09)
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