张立宪
【姓名】 张立宪
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】 微系统力学
【发表文献关键词】 深刻蚀,体硅工艺,牺牲层,微电子机械系统,硅基MEMS,体硅,表面牺牲层技术,三维加工,加工技术,可动部件,标准化,工艺模块,质量块,微电,集成制作,发展方向,子学,成化,加工线,国家实验室,
【工作单位】 北京大学
【曾工作单位】 北京大学;
【所在地域】 北京中国
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[1]郝一龙,张立宪,李婷,张大成.硅基MEMS技术[J]机械强度.2001,(04)
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