张大成
【姓名】 张大成
【职称】 教授;
【研究领域】 仪器仪表工业;无线电电子学;自动化技术;
【研究方向】 多种传感器、MEMS工艺技术等的研究
【发表文献关键词】 体微加工,IMEE,反射镜,MEMSCAD,静电驱动,响应频率,可变形,荧光PCR,Taqman,多孔硅,工艺设计,PEM燃料电池,MEMS技术,荧光染料,MEMS工艺,MEMS,芯片,微悬臂梁,燃料...
【工作单位】 北京大学
【曾工作单位】 北京大学;
【所在地域】 北京
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