屈建勤
【姓名】 屈建勤
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 上生,MOCVD,晶体质量,外延层,红移,扩散系数,失配度,二次离子,生长薄层,谱主,直流反应磁控溅射,主峰波长,三甲基镓,扩散区域,氨气流量,半高宽,物理系,过渡层,紫外光区,浓度梯度,
【工作单位】 北京大学
【曾工作单位】 北京大学;
【所在地域】 北京
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[1]毛祥军,杨志坚,李景,屈建勤,张国义.用MOCVD在ZnO/Al_2O_3衬底上生长GaN及其特性[J]半导体学报.1999,(08)
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