孟宪馨
【姓名】 孟宪馨
【职称】
【研究领域】 天文学;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 硅化物技术,金属厚度,薄层电阻,硅膜,SALICIDE,SOI应用,薄层,膜厚度,溅射,薄膜厚度,硅化物,自对准,快速热退火,钴,衍射峰,粘膜厚度,厚度变化,接触特性,优化问题,体硅,
【工作单位】 北京大学
【曾工作单位】 北京大学;
【所在地域】
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