隋小平
【姓名】 隋小平
【职称】
【研究领域】 物理学;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 硅化物,杂质再分布,扩散势垒,薄膜扩散,势垒,欧姆接触,反应溅射,介面,欧姆接触特性,溅射,特性研究,接触电阻率,氮气流量,形貌,浅结,PN结,溅射功率,氮流量,接触系统,子学,接触电阻,反向漏电流,...
【工作单位】 北京大学
【曾工作单位】 北京大学;
【所在地域】 北京
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[1]张国炳,武国英,陈文茹,徐立,郝一龙,隋小平,王阳元.硅化物/硅欧姆接触特性研究[J]北京大学学报(自然科学版).1993,(05)
[2]张国炳,武国英,徐立,郝一龙,隋小平,A.P.Clarke,P.J.Clarke,M.D.Strathman,T.Gates,S.Baumann.反应溅射TiW_yN_x薄膜扩散势垒特性研究[J]半导体学报.1993,(11)
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