石进杰
【姓名】 石进杰
【职称】
【研究领域】 仪器仪表工业;
【研究方向】 MEMS
【发表文献关键词】 大过载,ANSYS,MEMS,加速度计,微型加速度计,十字梁,微加速度计,电阻,惯性矩,感器,氧化层,有源区,敏度,梁结构,连线,交叉梁,冲击动力学,冲击实验,稳态分析,梁形,
【工作单位】 北京大学
【曾工作单位】 北京大学;
【所在地域】 北京
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[1]曾昭君,石进杰.一种抗大过载微型加速度计研究[J]微纳电子技术.2003,(Z1)
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