沈健
【姓名】 沈健
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 力电耦合,阈值电压,微电子机械系统,残余应力,微继电器,微电子机械,上极板,静电力,系统中,固支梁,工程科,计算结果,初始电压,悬臂梁,结构示意图,平板电容器,静电场,微机械,势差,MEMS,
【工作单位】 北京大学
【曾工作单位】 北京大学;
【所在地域】 北京
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[1]王丛舜,张为斌,方竞,崔云俊,沈健,昌盛.微电子机械系统中典型构件的力电耦合分析及其应用研究[J]机械强度.2001,(04)
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